EUV和VUV相机具有高分辨率、高动态范围以及良好的时间分辨率。

EUV和VUV相机提供现代脉冲等离子体放电EUV光源所必需的的高分辨率（通常状况下低至小于10微米），高动态范围（12-16位），以及良好的时间分辨率（降至微秒范围）。

该相机可以从全分辨率高达13fps本地的EUV光源获得单次或者是同步多次拍摄影像。

可以根据对灵活性的需要来选择具体的版本，例如空白掩模、来源、光学特性等。

该相机的灵敏度可以从13.5nm扩展到0.0135nm，能够使其方便地用于检测多种特征谱线。

深度的制冷允许其暗电流降至低于00.005电子/像素/秒，对于非常弱的信号需要长时间曝光。