X射线形貌系统能够分辨出单晶衬底的裂纹，其分辨率降至10微米。

该系统采用单色准直8keV强光束，能够覆盖高达5mm*5mm。

X射线形貌照片是在传输模式下获得的。分辨率高达50lp/mm的相机通过衍射光束路径的细微差异来记录其强度的变化。

这将表明影响布拉格反射的各个点的分布，并显示出特定的晶体缺陷，如沉淀、个别错位、堆垛层错、域界、相界等。

该系统采用一个具有远程控制功能和全自动控制调节分辨率和对比度的x射线桌面柜，具有很好的性价比，而且具有非常直观的交互界面，深受科研人员和工业领域客户的欢迎。